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廊坊美博密封材料有限公司-专业石墨密封环

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石墨材料在多晶硅铸锭炉中的应用
发布时间:2018-09-16        浏览次数:12        返回列表
 多晶硅铸锭炉中,多个组件是需要石墨材料。特别是加热器中使用的加热材料-高纯石墨,以及加热器中使用的隔热材料-高纯碳毡隔热材料,是目前重要的配套材料。

  (1) 加热器中使用的加热材料-高纯石墨材料

  在多晶硅铸锭炉设计上,为使硅料熔融,必须采用合适的加热方式。从加热的效果而言,感应加热和辐射加热均可以达到所需的温度。一般多采用辐射加热方式。它可以对结晶过程的热量传递进行精确控制,易于在坩埚内部形成垂直的温度梯度。

  加热器的加热能力必须超过1650℃,同时其材料不能与硅料反应,不对硅料造成污染,能在真空及惰性气氛中长期使用。符合使用条件可供选择的加热器有金属钨、钼和非金属石墨等。由于钨、钼价格昂贵,加工困难,而石墨来源广泛,可加工成各种形状。另外,石墨具有热惯性小、可以快速加热,耐高温、耐热冲击性好,辐射面积大、加热效率高、且基本性能稳定等特点。

  (2) 加热器中使用的隔热材料-高纯碳毡隔热材料

  对于铸锭工艺而言,为了提高生产效率,要求设备的升温速度尽可能快;由于采用真空工艺,要求炉内材料的放气量应尽可能少,缩短真空排气的时间;同时硅料中温度梯度的形成还需要隔热层的精确提升实现,隔热层的质量要尽可能轻,以减少升降时的惯性而影响控制精度。综上所述对于隔热材料的选择要求是:耐高温、密度低、导热小、蓄热量少、隔热效果好、放气量少、重量轻、膨胀系数小,在众多的耐火保温材料中,以高纯碳毡最为理想。